三星电子开发出可重复使用的晶圆抛光垫，可降低成本

7 月 9 日消息根据韩国媒体 BusinessKorea 消息，三星电子宣布开发出可以重复使用的化学/物理晶圆抛光垫（CMP）。这款产品是三星电子与另一家企业 F&S Tech 联合开发的。这款产品主要由聚氨酯制成，用于通过化学和机械方式来抛光硅晶圆表面，以便下一步制造工艺。目前，这种抛光垫使用一次便被抛弃并焚烧，成本十分高。

官方表示，CMP 抛光垫由四层组成，包括直接接触晶圆的表面、粘合剂、底部衬垫。三星电子和 F&S Tech 通过分离产品表面，并重新硬化，从而可以使这种产品恢复到全新的状态。官方表示，处理过后的产品质量和全新的一样好。

IT 之际获悉，F&S Tech 公司应三星电子的要求，于 2021 年初开始小批量制造可重复使用的 CMP 抛光垫，并应用于实际的生产线。尽管目前使用量非常小，但三星电子已经成为半导体行业中第一家使用可回收 CMP 的公司。两家公司目前正在研究这种产品的实际性能表现，以便评估是否要大规模应用。

外媒表示，三星电子每月需要使用数以万计的 CMP 抛光垫，这一产品全球市场规模估计为每年 56.5 亿元人民币。三星电子对这种产品的需求量十分大，目前市面上 70%-80% 的抛光垫由美国杜邦公司制造，半导体行业对此十分依赖。如果可重复使用的抛光垫得以应用，将明显减小三星电子制造芯片的成本，同时降低对于美国技术的依赖。

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