国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

据国家智能传感器创新中心消息，6 月 30 日，由国家智能传感器创新中心建设的国内首条 12 英寸先进传感器中试线成功通线。

据介绍，该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级 3D 集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。

据了解到，国家智能传感器创新中心表示，将在 12 英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。

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