半导体制造关键原料面临断供 光刻机一哥ASML急寻备胎

近期乌克兰局势不稳定，这也意外地加剧了全球半导体行业的紧张，因为该地区生产了全球70%的氖气，这是半导体制造中的关键原料，用量不多但非常重要，以致于光刻机巨头ASML都要寻找备胎，防止断供。

当地时间周三，ASML公司CEO表示该公司正在为工厂使用的少量氖气寻找其他来源。

该公司发言人也表示，尽管乌克兰是世界上最大的氖气生产国，但阿斯麦使用的氖气中只有不到20%来自该国。

据了解，氖气是惰性气体中的一种，在半导体工艺中惰性气体是一种重要材料，在DUV深紫外光光刻时代，产生DUV光源就需要多种惰性气体，然后与卤素分子混合，再使用电子束能量激发才能产生DUV波长的光，最后再用于芯片制造。

另外，来自EET-China的报道称，中国特种气体市场资深分析师任路则表示，虽然氖、氪、氙为半导体行业生产所必需，但是其绝对使用量并不高，作为钢铁行业的副产品，全球市场体量不是很大。

“中国是全球钢铁大国，对于这些稀有气体的纯化技术已经实现了突破，生产工艺也比较成熟，不再是能够‘卡中国脖子’的技术了。”

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