中芯国际绍兴重要项目量产:月产能突破 7 万片,良率达 99%


来源:IT之家   时间:2021-07-07 11:05:14


7 月 7 日消息国内最大的晶圆代工厂中芯国际日前又一个重要项目开始量产。据浙江日报报道称,位于浙江绍兴的中芯绍兴成功完成晶圆设备链调试。8 英寸晶圆月产能增至 7 万片,良品率达 99%。

目前半导体领域应用范围最广的是 8 英寸、12 英寸晶圆。中芯绍兴量产成功的 8 英寸晶圆,可用于智能汽车、智能家居家电的芯片制造。

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立。2018 年 5 月 18 日,中芯绍兴 8 英寸厂房项目举行奠基仪式,标志着中芯国际微机电和功率器件产业化项目正式落地绍兴。2020 年 1 月中芯集成电路制造(绍兴)有限公司 8 英寸项目正式量产,产能爬坡迅速。

中芯绍兴布局三大工艺平台:一是 MEMS 平台,包括 MEMS 麦克风、压力传感器、超声波传感器、振荡器、加速度计、陀螺仪;二是 MOSFET 工艺平台,包括沟槽式 MOSFET、分栅式 MOSFET 以及超结 MOSFET;三是立足场截止型(Field Stop)IGBT 结构。

了解到,2020 年是绍兴集成电路产业平台开启全面建设的关键之年。一年多来,平台聚焦集成电路设计 — 制造 — 封装 — 测试 — 设备及应用全产业链,多措并举为打造以集成电路为核心的高能级现代产业体系厚植根基。2020 年,集成电路产业总产值突破 300 亿元,成为绍兴城市综合经济实力提升到全国第 29 位的重要动力。

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