有国外媒体报道,光刻机制造商阿斯麦在当地时间周一宣布,他们位于德国柏林的一座工厂发生了火灾,目前,大火已在晚间被扑灭,没有人员受伤。
阿斯麦已在官网上公布了柏林工厂发生火灾的消息,从官网公布的信息来看,发生火灾的工厂是阿斯麦的一座零部件工厂,生产晶圆台、网纹卡盘和镜像块等部件。
由于阿斯麦是目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商,在全球多领域芯片短缺的背景下,阿斯麦光刻机的生产及交付至关重要,柏林工厂的火灾是否会影响到生产引起了各界的关注。
另外,由于光刻机由众多部件组装而成,任何部件生产的推迟,都可能影响到光刻机最终的生产和交付,进而影响到芯片厂商完成产能。
对于火灾的影响,阿斯麦在官网上也有提及,但他们是表示现在披露火灾的损失或对今年生产计划的影响都还为时尚早,全面的调查和评估可能还需要几天时间,一旦他们完成了评估,就会对外公布最新的消息。
发生火灾的这一工厂,原属于阿斯麦的供应商Berliner?Glas,阿斯麦在2020年收购了这一公司,收购金额尚未披露,有报道称这一收购花费了阿斯麦2.3亿欧元。
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