ASML 20年前就开始研制EUV光刻机：日本佳能、尼康嫌太复杂

ASML已经成为了全球第一大光刻机厂商，而且最顶尖的EUV光刻机更是独家垄断。

日前与媒体交流时，ASML技术开发副总裁Tony Yen确认了此前外界的猜测，他表示EUV光刻机目前有三大客户，分别是台积电、三星和Intel。

至于同样制造光刻机的日本佳能、尼康为何在EUV上掉队，Yen指出，我们从2000年左右开发EUV，并决定大批量生产这种光刻机。

日本人没有这么做，因为他们觉得系统太复杂。实际上，我们当时也不是100%确信EUV光刻机会成功。

当然，Yen提到，EUV光刻机的成功还有蔡司、Cymer(已被ASML收购)等企业参与，其中蔡司独家向ASML出售半导体相关的曝光产品。

据官方披露的数据，去年全球光刻机总销售量为413台，其中ASML销售258台占比62%，佳能销售122台占比30%，尼康销售33台占比8%。从光刻机类型来看，尼康出货的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i-line（份额69%）。

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